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    基于微觀力學的Al/Ta金屬多層膜形變損傷機制研究
    來源: | 作者:牧星科技成果轉化 | 發布時間: 2020-05-12 | 442 次瀏覽 | 分享到:
    基于微觀力學的Al/Ta金屬多層膜形變損傷機制研究

    課題編號

    QN2017064

    課題名稱

    基于微觀力學的Al/Ta金屬多層膜形變損傷機制研究

    起止時間

    2017.01-2018.12

    下達單位

    河北省高等學??茖W技術研究項目

    是否驗收

    驗收證書編號

    2019253

    課題主要簡介:
        
    金屬多層膜是微/納電機械系統中電子元器件以及互連結構的重要組成部分。多層膜中組元的單層厚度由微米減小到納米尺度,其力學行為將明顯不同于塊體材料和單層薄膜材料。金屬多層膜材料力學行為的研究是提高先進薄膜材料服役性能的基礎,而金屬多層膜的尺度及界面效應是影響材料力學行為的關鍵因素,揭示此類材料形變過程中的微觀組織結構演化、微觀力學行為及形變機制,對于提高金屬多層膜材料的服役性能尤為重要。本項目擬圍繞“不同組元厚度多層薄膜在外加應力作用下晶體取向與微觀應力演化規律及與形變機制/形變損傷的關聯性”這一關鍵科學問題,以不同周期結構Al/Ta金屬多層膜為研究對象,主要采用同步輻射X射線微束衍射實驗手段,建立金屬多層膜各組元層和組元間應力原位表征與測量新方法;開展綜合微觀力學的材料力學行為模擬方法研究,研究結果將為制備高性能金屬薄膜提供重要的實驗和理論基礎。

    課題主要成果:

    R. Su, L. Li, Y.  D. Wang, Z. H. Nie, Y. Ren, X. Zhou, J. Wang. Intergranular stress study of  TC11 titanium alloy after laser shock peening by synchrotron-based  high-energy X-ray diffraction. AIP ADVANCES, 2018, 8: 055126.

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